MEMS微模块和智能边缘传感器

在当今世界,传感器无处不在——从电机和工业设备到移动设备和家用电器。今天和明天的电子产品需要越来越小和更有效的组件和模块以及足够的电力来运行。通过开发更复杂、功耗更低的微机电系统(MEMS)、集成电路(ICs)和传感器,我们可以将新的功能集成到电子设备中。

MEMS微模块和智能边缘传感器的关键技术

数十年来,VTT一直活跃在微电子技术的最新研发领域。

PiezoMEMS支持针对新的应用领域进行设备开发。

智能边缘传感器实现本地高效数据处理。

在小型化系统的帮助下,极端的功能和高性能操作可以打包到紧凑的尺寸,低功率操作单元。这些技术为医疗和卫生技术以及资产状况监测带来了新的能力。

20多年来,VTT一直在微电子机械系统(MEMS)领域不断创新。我们专注于我们独特的能力,在众多具有挑战性的应用中创建广泛的传感器和设备,例如

  • 电信
  • 卫生技术
  • 汽车
  • 环境监测

PiezoMEMS作为未来的关键启动器

基于(Sc)AlN的压电薄膜的工艺和应用开发是我们专业知识组合中的一个特别的先锋。我们集中研究了利用薄膜的沉积和图案化方面。此外,PiezoMEMS的各种应用可能性也很吸引人:

  • 声波器件(BAW、SAW、FBAR)在现代射频通信(包括5G和6G)中对信号滤波的需求越来越大
  • 超声波换能器,特别是配置为矩阵形式时,可用于不同领域,从医疗和卫生技术(气体、液体流量测量、生命体征监测和组织成像)到城市基础设施维护(HVAC解决方案和智能水监测)
  • PiezoMEMS技术带来了惯性传感、光束控制以及动态控制微镜形式的激光雷达应用的进步。PiezoMEMS也可用于检测分析物和病毒的生物传感器。

利用声发射MEMS传感器进行状态监测

在工业制造、配电和其他应用中,一个关键的发展领域是有价值资产的状态监控。通过检测设备的声发射信号,我们可以发现设备磨损的早期迹象,并在发生灾难性故障之前及时进行维护。在VTT,我们开发了一种MEMS传感器,可以适应各种频率范围和应用环境。超声波换能器也可用于无损检测和监测。

用于气体检测和光谱学的光学MEMS

我们的表面微加工专家开发基于mems法布里-珀罗干涉仪(FPI)的薄膜工艺和组件。多亏了这些,我们可以创建手掌大小的实验室仪器,用作电压可调谐的带通滤波器,例如气体检测和光谱学。

新型表面mems压力传感器

几十年来,我们一直是压力测量领域的一部分,这要归功于我们在薄膜及其在微机械结构中的应用方面的强大专业知识。我们基于表面mems的绝对和差压传感器和传感器矩阵可以定制,并用于最特别的应用。

用于MEMS读出的集成电路

在VTT,我们将MEMS设备集成到操作微模块和智能边缘传感器系统中。当适用时,我们设计一个专用集成电路(ASIC)或模拟前端读取解释MEMS传感器。一个定制的读数部分,保证最小的尺寸,低功耗和低噪音。

神经网络促进边缘计算

电子系统通过传感器与环境进行交互,将现实世界转换为数字世界。随着传感器数量的增加和测量的复杂,我们面临着从传感器节点到云服务的功耗和可用数据传输能力限制的挑战。通过边缘计算和神经网络对局部数据进行处理,降低了对数据吞吐量和传感器功耗的要求。我们的关键专长在于结合传感器和基于硬件的模拟神经网络,以实现优越的计算性能和能源效率。

我们的微电子相关产品

在VTT,我们为您提供以下相关的研发服务:

  • MEMS微型组件
  • 亚瑟士
  • 边缘计算
  • 物联网传感器网络
  • 其他与微电子学相关的研究领域

我们可以通过位于Micronova的VTTMemsfab为您提供从基础研究和可行性研究到概念验证、原型制作和小规模制造的所有支持。

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